P-725.xCDE2 用于顯微鏡物鏡的PIFOC聚焦掃描儀®

動(dòng)態(tài)掃描，行程范圍為 100 μm、400 μm 或 800 μm

PI聚焦掃描儀P-725.xCDE2特點(diǎn)

行程范圍 100 μm、400 μm 或 800 μm

響應(yīng)速度明顯快，使用壽命明顯優(yōu)于電動(dòng)驅(qū)動(dòng)器

亞納米分辨率鏡頭的精細(xì)定位

使用電容式傳感器進(jìn)行直接位置測(cè)量：最高線性度

與變形成像軟件兼容

? 29 mm 的大自由光圈

PI聚焦掃描儀P-725.xCDE2應(yīng)用

超分辨率顯微鏡

光片顯微鏡

共聚焦顯微鏡

2光子顯微鏡

3D 成像

篩分

干涉

測(cè)量

自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)

生物工藝學(xué)

半導(dǎo)體檢測(cè)

PI PICMA 壓電陶瓷促動(dòng)器具有出色的使用壽命

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器是陶瓷絕緣的。這可以保護(hù)它們免受由于泄漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障的影響。PICMA促動(dòng)器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動(dòng)器的十倍。已經(jīng)證明了 100 億次循環(huán)，沒有一次故障。

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行非接觸式測(cè)量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性度、高長(zhǎng)期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

通過無間隙固態(tài)接頭導(dǎo)向裝置實(shí)現(xiàn)高導(dǎo)向精度

固態(tài)接頭導(dǎo)軌免維護(hù)、無摩擦、無磨損，不需要潤(rùn)滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對(duì)沖擊載荷和振動(dòng)不敏感。它們?cè)诤軐挼臏囟确秶鷥?nèi)工作。

PI P-725.1CDE2技術(shù)參數(shù)

活動(dòng)軸 Z

在Z中旅行 100 µm

Z 軸行程范圍，不受管制 120 µm

Z 軸線性偏差  0,01 %

偏航 (在Z軸中移動(dòng)時(shí)以 @x 為單位的旋轉(zhuǎn)串?dāng)_) ± 10 µrad

傾斜 (在 Z 軸中移動(dòng)時(shí)以 eY 為單位的旋轉(zhuǎn)串?dāng)_) ± 10 µrad

Z 軸上的最小步長(zhǎng)  1 nm

點(diǎn)重復(fù)性，10% 增量，1 西格瑪 10 nm

內(nèi)置傳感器  電容式直接位置測(cè)量

傳感器噪聲，1 西格瑪 0,2 nm

Z軸位置噪聲 0,1 nm

Z 軸中 10% 步進(jìn)的建立時(shí)間 14 ms